.png){kind=small}
ソーラーパネル・液晶・半導体などの
薄いワークを搬送の際、
このようなお困りごとはありませんか？
ワークと搬送部の摩擦で
静電気が発生してしまう
均一に吸着できず、吸着痕・
吸着ムラ・ヨレができてしまう
フィルムやシートを傷つけたくない為接地面を少なくしたい
がまるっと解決！
.png)
エアロフィックスとは
エアロフィックスは、多孔質セラミックでできた真空チャックです。
主剤と助剤の共晶コントロールによるナノテム独自のセラミック焼結技術により、
従来にない2㎛の気孔を均一に生成、気孔率40%、軽さと強度の両立を実現しました。
ドライ環境はもちろん、ウェット環境、150℃までの高温環境でも使用できます。
提供パターン
お客様の要望に応じて、様々なパターンで提供を準備しております。
形状やサイズ、機器構成により、個別にお見積もりいたします。
決まったサイズや形はございません。
全ての製品はお客様のご要望に沿ったオーダーメイドで提供いたします！
よくある質問
Q1. エアロフィックスとは、そもそもどのようなものなのでしょうか？
A.多孔質セラミックスでできた真空チャックです。
多孔質セラミックスとは、内部に多くの気孔を持ったセラミックスのことです。
ナノテム様の製品の気孔率は平均40%なので、セラミックス全体が軽石みたいなものです。
真空チャックの原理は、ワークとチャック部の接地面を真空にすることによりワークが大気圧に押され、
チャック面にワークが吸着することになります。つまり、ワークの上部と下部の気圧差を利用しています。接着剤などを使わず、空気のみでワークをチャック部に吸着させることができるのです。
Q2. 主にどのような用途で使われていますか？
A.ソーラーパネル、LED、半導体、液晶、プリント基板、有機ELなどの様々なワークを加工するための機械に固定(吸着)させる目的で使用されています。近年では、吸着以外での用途が拡大しています。
負圧をかけると、セラミックスの上に置いたワークが吸着でき、正圧をかけるとワークが浮上します。
正・負圧を切り替えることで浮上させて、搬送、停止、回転することが実現できるようになりました。
ナノテム様は、非接触浮上搬送装置の開発も成功し、ワークに触れることなく搬送できるようになり
コスト効果も見込まれています。
Q3. 一般の真空チャックとエアロフィックスはどう違うの？
A. 一般的な真空チャックとエアロフィックスとの大きな違いは主に5点です。
①帯電したワークの除電ができる(表面抵抗値を調整できる)
②反射率を5%以下に調整できる
③部分吸着が可能(従来の真空チャックはチャック全面での吸着しかできませんでした。
エアロフィックスはワーク形状に合わせたものを準備する必要がありません。)
④フィルムなど、デリケートな薄物ワークに適している(従来の真空チャックでは、薄物ワークが表面の
穴溝に吸い込まれることによって、変形や歪みが発生していました。)
⑤非接触浮上ができる
Q4. 表面にごみがついてしまった場合、どのように汚れを除去すればよいですか？
汚れ除去方法のマニュアルをご用意しております。
下記からダウンロードしてください。